二手 DISCO DFP 8140 #293820676 待售

DISCO DFP 8140是DISCO公司獲得專利的下一代晶圓研磨、研磨和拋光設備。DISCO DFP8140采用先進的晶圓制造技術,為各種金屬、非金屬和硬質材料的高精度精加工工藝提供了卓越的晶圓精度和卓越的控制,且材料浪費極少。DFP 8140從屢獲殊榮的DFP 8100系列帶來了一系列創新的設計和技術升級，創造了即使在極端溫度和振動條件下也易於使用和維護的全自動晶圓研磨系統。DFP8140有一個完全封閉的真空室，或隔離，以減少大氣幹擾和交叉汙染。該機組配備高功率研磨主軸和集成視覺機，配備主動冷卻。主軸由無刷直流電動機驅動，轉子轉速可調節至60,000 rpm。在研磨階段，使用專門的晶圓載體來旋轉晶圓。金剛石圓盤或皮帶用於去除外層材料，同時插入金剛石薄膜以調節晶片表面。在研磨階段，使用兩套研磨機進一步拋光晶片表面，一套用於扁平研磨，一套用於斜角研磨。扁平研磨機采用金剛石磨料和潤滑劑，斜角研磨機采用低粘度、微乳液基潤滑劑。兩臺研磨機均配有空氣軸承主軸，以確保晶圓旋轉均勻且無振動，並配有冷卻工具在過程中保持穩定溫度。在拋光階段，晶片使用機械和化學手段進一步拋光。在機械步驟中，使用金剛石磨料來降低表面粗糙度。在化學步驟中，在表面塗上拋光劑，以達到光滑均勻的光潔度。DISCO DFP 8140的高級自動化功能為用戶提供了更高的精度和控制,以實現高精度完成。該資產還配備了一套獨特的硬停功能，允許對研磨和拋光效果進行超微調和精確控制。總體而言,DISCO DFP8140提供了可靠、堅固且易於使用的晶圓研磨、研磨和拋光模型,旨在滿足高精度晶圓研磨和拋光工藝的要求。它的高級功能和自動化功能確保了高精度和可重復的結果。