二手 DISCO DFP 8140 #9232792 待售
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DISCO DFP 8140是晶圓研磨、研磨和拋光設備,有助於生產高質量的拋光晶圓表面,以滿足當今新興的半導體器件要求。它特別適合生產矽晶片、絕緣子上矽(SOI)晶片和其他類似的硬質材料。DISCO DFP8140包括一個旋轉研磨臺、一個研磨單元、一個拋光單元、一個可選的試驗單元和一個磨料供應系統。旋轉研磨臺可用於實現各種目標幾何形狀,包括平面、球形、規則輪廓和橢圓形曲面。磨削單元由各種尺寸和材料的磨料磨削輪組成。此單元用於將晶片表面磨削到所需的粗糙度。拋光單元由金剛石盤和拋光液體組成。此單元用於拋光晶片表面,使其達到所需的平滑度。可選的試運行單元用於原型設計和工藝開發。除了核心元件外,DFP 8140還附有晶圓邊緣剖析單元和三軸機器人晶圓處理機。晶片邊緣剖面工具用於將晶片邊緣剖面到所需的剖面。三軸機器人晶片處理資產用於將晶片移動和定位到相應的處理單元。DFP8140還包括一個控制臺,用於監視過程和來自機器各個組件的數據。此控制臺可幫助調整研磨臺參數、旋轉方向、旋轉速度、進料速率、磨輪、拋光盤,以及監控和調整負載。DISCO DFP 8140是一種高度可靠、用途廣泛、經濟實惠的晶圓研磨拋光模型。它用於實現最高質量的拋光晶片表面,幾乎可用於任何需要最高質量結果的應用。這種設備非常適合生產矽片、SOI晶片和其他硬質材料,用於半導體器件制造和其他相關工藝。
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