二手 DISCO DFP 8140 #9311797 待售

DISCO DFP 8140是一款精密晶圓研磨、研磨、拋光設備，旨在實現高質量的表面飾面和精度。利用最新技術，這種模塊化系統非常適合生產需要卓越表面質量和精度的高價值半導體器件晶片。DISCO DFP8140具有一個大的加工室，非常適合大直徑晶圓。一個高壓氣動驅動的研磨臺，與壓力氣動研磨板相結合，有效地消除即使是最棘手的缺陷。為進一步確保質量和精度，該單元還包括一個具有獨立控制的z軸的精密研磨單元。該單元采用高精度金剛石圓盤，提供出色的表面光潔度和精度。機器使用特殊的拋光墊來提供相對無應力的拋光工藝，允許較少的晶圓缺陷。拋光墊有多種圖案，適用於不同的材料和應用。晶圓伺服機器人轉移工具，結合兩個單獨控制的用於晶圓處理的高精度轉盤，確保晶圓在研磨和拋光臺上的準確定位。DFP 8140具有簡單的用戶界面和易於理解的圖形顯示,用於對過程參數進行編程。資產的高精度位置編碼器能夠精確控制研磨和拋光墊。液晶屏上還會顯示自動監控過程參數和警告,以便快速做出決策。此外，該模型允許集成外部過程監測系統，如光學和電氣晶片測試。DFP8140利用計算機控制設備,該設備功能強大,足以滿足半導體行業不斷變化的需求,並且具有足夠的價值,有助於降低人工成本。高級設計提供一致的可重復結果,同時提供可靠性和靈活性。其結果是一個自動化的系統，提高晶圓精度和產量，同時最小化過程時間。