二手 DISCO DGP 8760 + DFM 2700 #293633785 待售
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ID: 293633785
Wafer back grinder
Load port
Robot
Chuck table
Spindle
(2) Transfer arms
Spinner
Position
Chuck table washing
Vacuum pump
Polish residue collector
UPS
Transformer
DTU
DFM2700:
Load port
Robot
Inspection table
UV Table
Alignment table
Wafer transfer table
(2) Wafer transfer arms
Dicing tape attachment table
Dicing tape feeder
Batch cutting
Workpiece transfer arm
Protection tape peeling
Workpiece unloading
Unloader
Vacuum pump
2006 vintage.
DISCO DGP 8760+DFM 2700是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，非常適合拋光多種晶圓類型，包括多晶矽、石英和砷化氙。它旨在確保精確和精確的薄膜沈積，以滿足最嚴格的要求，特別是在計量和MEMS行業。DISCO DGP 8760采用高精度研磨主軸實現精密再研磨，而DFM 2700則利用數字力傳感器測量和控制研磨力，從而確保優越的晶片表面質量。此外,這兩個系統都具有獨立調節的鉸接臂導軌,用於晶圓加工的精確樣品對準。DGP 8760磨床配有一個控制單元,可根據可編程參數和設置監控主軸的工作狀況並調整其壓力。單獨的空氣沖洗和高速氣動拋光噴射進一步加強了研磨和拋光工藝,從而確保了盡可能最好的表面光潔度,同時又不影響工藝的精度。總體而言，該系統提供了最先進的設備，具有廣泛的研磨、研磨和拋光應用。其自動化過程保證了晶圓加工的可重復性和準確性。此外,它的開放式體系結構和用戶友好界面為實施自定義流程和應用程序提供了靈活性。適當的保養和保養對於這個裝置也是必不可少的，包括每天檢查卡盤壓力、夾具、車輪和主軸。定期檢查散件，清洗工區殘留物料，也是達到最佳性能所必需的。綜上所述,DISCO DGP 8760/DFM 2700機器是晶圓研磨、研磨和拋光工藝的交鑰匙解決方案。它包括精密儀器和高級功能,為各種應用提供了最佳效果。
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