二手 DISCO DGP 8760 + DFM 2700 #9236095 待售

DISCO DGP 8760+DFM 2700晶圓研磨、研磨、拋光設備是一種用於精密晶圓制造的自動化集成系統。DISCO DGP 8760是一款高精度、雙軸磨床/拋光機，設計用於自動加工基板，研磨和拋光最優秀的特征分辨率表面。該裝置旨在減少加工時間，同時消除汙染風險。該機配有一個用於基板處理的集成載波機器人。機器人生成沿X軸、Y軸和傾斜軸的運動,使基板進入研磨、研磨和拋光過程。操作機器人還可以輕松地提升和降低載具之間的基板。該機器人包括多達4個用於基材和夾具裝載的加工載體。DISCO DGP 8760利用先進的軟件控制,使整個研磨、研磨和拋光過程自動化。該工具包括兩個用於磨削直至直徑8英寸的基板的車輪,只需要兩個驅動程序即可操作。車輪使用卡盤機構連接和拆卸。DISCO DFM 2700是用於平滑不規則表面的雙面拋光資產。此模型通常用於精密光學研磨和拋光,允許對基板進行精細和高清拋光。DFM 2700的主要特點包括：可精細調節壓板運動方向和深度的伺服電機驅動設備、17 rpm的處理速度、CNC控制臺以及用於底物裝卸的微處理器控制機械臂。DISCO DGP 8760/DFM 2700晶圓研磨、研磨、拋光系統是一個創新的、完全集成的高精度單元，設計用於自動處理晶圓並創建精細特征分辨率曲面。這臺機器采用機器人技術和先進的軟件，使所有過程自動化，確保準確性和精確度，從而形成一個經濟高效的晶圓生產解決方案。