二手 DISCO DGP 8760 #9038367 待售

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ID: 9038367
Backside wafer grinder, 12" Includes: (4) Porous vacuum chucks (2) Grind wheel (2) Independent wet grind spindles (2) Independent transfer arms (2) Independent loadports, 25 wafer Front Opening Shipping Box (FOSB) carrier (1) Wafer handling robot, 6 axis (1) Wafer alignment system with capability, pedestal style with vacuum (1) Wafer ID Reader, independent screen (1) Dry polish spindle (1) Polishing wheel (1) Spin-dry station Chuck cleaning system (does not require conversion from 8" to 12" Wafer processing hardware Wafer processing consumables Tape-side wash for clean post grind Voltage: 200 VAC, 3 Phase Wiring configuration: H + H + H + G Frequency: 50/60 Hz F/L Amp: 41 A MC Main breaker rating: 75 A Amp rating at largest load: 42 A Interrupt Current: 35 kA 2008 vintage.
DISCO DGP 8760是DISCO公司開發的晶圓研磨研磨拋光設備。這種晶片工藝系統能夠實現精密研磨和拋光的要求苛刻的應用,如實現精細的表面光潔度和平坦度。它有一個高效的自動化單元,具有用戶友好的圖形界面,支持多種磨削、研磨和拋光晶片的工具。DISCO DGP8760機的主要部件是磨石、拋光墊和主軸。磨石被固定在一個主軸箱中,由一個電動機驅動,該電動機使磨石振蕩以便磨碎晶片。電機由可編程數控機床控制,可實現不同的研磨速度和模式。拋光墊用於磨削後進一步拋光晶片。它設置在運動階段,並以恒定的方向和速度旋轉,同時在墊片和晶片之間提供拋光化合物。最後,使用主軸在研磨拋光過程中固定晶片,並裝有PID控制器以精確控制轉速。對於研磨工藝,DGP 8760有幾種工具可用於確保嚴格的工藝精度。它可以自動選擇最合適的研磨條件,並為研磨過程設定電機振蕩速度。為了獲得最高質量的研磨,DGP8760支持使用變速研磨頭,以確保對研磨過程的最佳控制。使用觸摸面板可以將拋光板調整到不同的速度,以實現所需的表面光潔度。最後,主軸具有PID控制器,以確保對轉速的精確控制.DISCO DGP 8760除了精細的表面光潔度和平坦度外,還能實現細線寬度和其他CMP相關操作。此工具的其他功能包括自動重置功能、灰塵控制、供水以及非均勻晶圓表面的自動映射。總體而言,DISCO DGP8760是一種精密的晶片加工資產,用於研磨、研磨和拋光晶片。其高效的自動化模型以及各種研磨、研磨和拋光工具使其成為廣泛應用的理想選擇。此外,它的PID控制器和觸摸面板可以自動控制研磨和研磨過程,從而提高吞吐量和質量。
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