二手 DISCO DGP 8761 + DFM 2800 #293827085 待售

DISCO DGP 8761+DFM 2800是一款行業領先的晶圓研磨、研磨和拋光設備，旨在在研磨、研磨和拋光用於集成電路制造的大型扁平基板時提供卓越的性能。該系統采用DISCO DGP 8761研磨拋光平臺和DFM 2800研磨拋光平臺相結合,三個磁頭同時工作,以確保對直徑達8英寸的晶片進行高效、準確的處理。DISCO DGP 8761研磨拋光平臺采用獨特的五區設計，由強大的觸摸屏界面控制，並提供多種工藝套件，以有效研磨、膝蓋和拋光基板。該平臺配備了自動晶圓索引器以確保精確的基板加載，一個完全可集成的SEMI-flow超聲波清洗單元，以及一臺多步、高功率、高性能的磨料機。為確保準確一致的工藝控制，平臺安裝了獨立的主軸和閥門，以控制施加在基板上的速度和壓力。DFM 2800研磨拋光平臺利用兩個精密拋光頭來精確地圈合和拋光直徑達8英寸的基板。該平臺還配備了高性能磨料漿料工具和集成冷卻資產，以防止熱損傷，最大限度地減少邊緣傾斜的可能性。DFM 2800還具有自動晶圓高度控制模型,該模型使用非接觸式傳感器確保基板保持在研磨和拋光過程的最佳高度。總體而言，DISCO DGP 8761/DFM 2800是業界領先的晶圓研磨、研磨和拋光設備，在研磨、研磨和拋光大型扁平基板時提供高度的精度和靈活性。該系統將DISCO DGP 8761和DFM 2800平臺的自動晶圓索引器和高精度拋光頭分別與各種工藝包相結合，以確保高效準確的處理。DFM 2800的自動晶圓高度控制和集成冷卻裝置進一步確保了基板的精密拋光和冷卻，為用戶提供了更高的產量和改進的工藝流程。