二手 DISCO DGP 8761 #9073895 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9073895
晶圓大小: 6"
優質的: 2012
Fully automatic polisher / grinder, 6"
Currently configured for 6" wafer
Can be upgraded to run 8" or 12" wafers
(4) Chuck Tables
(3) Spindles
Z3 Spindle Configured for Dry Polishing
2.4mm Height Gauge
Cassette to Cassette Operation
Incorporated Wash Station
Transformer: not included
Uninterruptible Power Supply: included
Included: Options:
Auto Setup Option included
DTU1531 Temperature Control Unit: included (transformer not included)
(4) Wheels and/or Dry Polishing Pads Included
3" Wafer capability in conjunction with 6" wafer capability (DP Pad Modification)
Special Options:
3" Wafer capability in conjunction with 6" wafer capability (DP Pad Modification)
3.0mm Height Gauge Modification
Endpoint Detection Software
2012 vintage.
DISCO DGP 8761是一款晶圓研磨研磨拋光機，旨在為矽晶圓的加工提供卓越性能。設備的緊湊設計允許最佳利用可用工作區,並且需要最少的操作員幹預才能有效運行系統。該裝置利用磨料研磨帶促進晶圓表面的均勻研磨，具有可調的皮帶張力以提高研磨精度。精密旋轉表允許一個無振動的可重復過程，並且可以設置為遵循所需晶圓尺寸的繪圖。X-Y驅動器可以獨立、精確地水平和垂直調節晶片位置，以確保晶片表面的快速、精確研磨。集成的自動研磨頭允許獨立控制徑向和角壓力，以優化研磨過程的均勻性。該機配有先進的拋光模塊，由柔性拋光板組成，可根據加工晶圓的類型和尺寸對變壓進行調整。可調滑輪驅動確保了拋光過程的準確性和一致性。平整度測量和拋光後質量檢查工具驗證了晶片的平整度。DISCO DPG 8761還具有現代化的用戶界面,允許操作員設置晶圓尺寸、研磨和拋光壓力以及汙染控制參數。資產還記錄所有流程參數，以便進一步分析，確保對流程效率的快速和準確反饋。DISCO DPG 8761專為快速一致的性能而設計，確保了加工晶片的最高質量。該模型還設計為在操作員輸入最少的情況下運行，並易於維護和維修，以實現最佳的長期運行。
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