二手 DISCO DGP 8761 #9364774 待售

DISCO DGP 8761
ID: 9364774
晶圓大小: 2"-6"
優質的: 2010
Grinder / Polisher, 2"-6" 2010 vintage.
DISCO DGP 8761是一款綜合性晶圓研磨研磨拋光設備。它專為MEMS器件、SOI晶片等類似結構的量產而設計。它配備了一系列自動化處理步驟,以確保精確、高質量的結果。DISCO DGP8761采用單面拋光(SSP)方法進行研磨、研磨和拋光。其中包括一個強大的伺服控制電動機,它為系統的交叉進給表提供動力,使晶圓相對於主軸精確移動。該單元還可以配備剛性XY級,從而可以在臺上處理較大的工件。機器使用金剛石磨床將材料減小到所需的厚度和精加工。金剛石磨輪有各種標準尺寸和定制尺寸,可容納各種工件。該工具能夠以最小的顆粒損耗實現超平坦的表面和緊密的表面光潔度。8761的研磨過程從表面去除不需要的材料,產生均勻的平面表面。該資產能夠使用各種常規的和專門的研磨和拋光化合物,並且能夠以最小的顆粒損耗產生光學平坦的表面輪廓。為確保精確完成,該模型包括一個集成的校準和檢查設備。該系統有一個獨特的視覺單元,用於獲取工件的3D-profile。然後使用此數據對刀具路徑進行任何必要的更正,以確保準確的處理參數。最後,8761設有整合式潔凈室設施。它包括裝有HEPA/ULPA的潔凈室窗簾,以便在加工過程中將汙染降至最低。它還具有一個附加的安全機器與EMF(電磁場)屏蔽敏感的應用。DGP 8761是一種技術先進的工具,設計用於精密晶圓研磨、研磨和拋光。它的高級功能使它能夠持續地產生高度準確的結果,使其成為當今MEMS和SOI晶片生產設施的理想選擇。
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