二手 DISCO IF-01-1-4 / 8-B-K01 #9142771 待售

該設備的DISCO IF-01-1-4/8-B-K01晶圓研磨、研磨和拋光系統專門設計用於在各種半導體和顯示面板生產線上提供高質量和經濟高效的選擇性研磨、研磨和拋光。它是一種多功能主力車,為各行業提供多種光刻應用功能的多功能解決方案。該裝置完全自動化，采用雙機器人臂技術，可實現晶片的自動化裝卸。一個懸浮的濕磨站和一個5軸機械臂與視覺反饋振蕩確保精確研磨。研磨站提供可調節的壓力控制和可調節各種晶圓尺寸和基板厚度的雙拋光頭。它還具有4軸定位精度，可提高工藝控制和無缺陷拋光。有各種研磨和拋光消耗品，如金剛石粉末、金剛石鍍金工具、平圈、金剛石塗層研磨墊等。該機器還能夠達到0.1 nm Ra的最大表面粗糙度和10 u m的各種樣本量的表面平面度。該工具直接兼容各類半導體和顯示面板生產線，可容納直徑小至5mm的圓形晶片。它也可用於引擎蓋型和旋轉型拋光工藝，以達到所需的表面光潔度。其精密的軟件控制資產提供了每個流程的實時日誌記錄，從而可以快速準確地診斷與流程相關的缺陷或其他問題。這種晶圓研磨、研磨和拋光模型是制造商的理想選擇,他們正在尋找可靠且經濟高效的解決方案來提高生產效率和提高產品質量。該設備體積小巧，具有足夠的靈活性，可用於廣泛的應用，包括但不限於半導體晶圓研磨、研磨和拋光。其先進的自動化功能確保它是降低成本和人力的理想選擇,同時確保生產的最高質量。