二手 DISCO RS-03-2-2 / 4P #9142774 待售

DISCO RS-03-2-2/ 4P是一種多功能研磨、研磨和拋光設備，用於生產薄矽和藍寶石晶片。該系統設計用於同時執行多達四個研磨和拋光操作,能夠在可重復的過程中生產高質量的晶片。該裝置利用金剛石磨盤和一組實心拋光墊來達到所需的光潔度。晶圓的研磨和拋光是制造晶圓的重要步驟，用於半導體、光電等行業的各種技術。高精度和重復性是影響晶片整體質量的關鍵因素。RS-03-2-2/ 4P包括一個堅固的研磨和拋光平臺以及必要的附件和控制。本機采用兩個直線電機驅動的磨頭，以及兩個變頻電機驅動的拋光頭，每一個都提供可編程的速度和壓力。磁頭是獨立操作的，使得在兩個不同的進程之間進行插值等復雜操作成為可能。此外,此工具還包括一個兩級工藝室,允許在加工過程中使用精確的溫度、壓力和溶液混合物。該資產還包括減少傷害可能性的後部互鎖模型、從工作臺上清除廢棄顆粒的集成真空設備等安全功能。此外，該系統還包括一個功能強大的控制單元，為用戶提供實時的過程監控和可調參數。DISCO RS-03-2-2/ 4P能夠實現Ra0.01 μ m或更小的表面粗糙度,以及0.001 μ m的表面平面度,使用戶能夠生產出各種用途的高質量晶片。此外，該機還配備了精密控制工具，為用戶提供精密的過程控制。這些特性使RS-03-2-2/ 4P成為生產具有完美平整和完美的薄膜基板的強大而可靠的工具。