二手 DNS / DAINIPPON AS-2000 #293733191 待售
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ID: 293733191
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
CMP System, 8"
Dual brush and top side brush chambers
Spin dry
Gases: DHF, NH4OH
(2) Chemical cabinets
MX-7500 TBC Brush load cell amp
PRETECH Fine jet Generator
AC Transformer
FA-21000A PC
YASKAWA SGD Drive
HF Circulation filter
UT3-F3AE-B touch panel
HFC-VWE Hitachi inverter
RORZE Curt-2032-0
Slurry flow controller interface
Power box
IFC-7300-001 Distribution box
Operating system: Windows NT
1998 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000是一種全自動晶片研磨、研磨、拋光設備，設計用於精確研磨、拉圈、精加工矽等復合半導體晶片。該系統是最通用、最先進的自動化和過程控制單元.它能夠產生優越的晶圓表面光潔度，具有優越的晶圓平整度和厚度。DNS AS2000提供理想的平面和角度研磨的辛和不對稱圖樣晶片，包括臺階，通過和凹凸研磨。拋光是通過自由移動的磨料主體機完成的，實現了快速準確的平整度、均勻度和厚度調節。該工具還提供各種拋光和研磨參數，包括選擇使用不同的金剛石顆粒進行各種工藝。資產配備了先進的過程控制和安全系統，如壓力調節器、真空系統、溫度控制單元等。這確保了精確和可重復的過程具有優越的晶片表面條件和質量。其他功能包括晶圓進紙器和晶圓框架,使晶圓尺寸易於調整,PLC控制器帶有觸摸面板,可輕松選擇工藝,以及內置的多種研磨和拋光模式。為了獲得最佳的研磨生產率和工藝性能,DAINIPPON AS 2000設計了一系列高級軟件功能,使用戶能夠精確控制研磨和拋光參數,如研磨參數、金剛石尺寸、品位、界面壓力、速度曲線、振蕩和材料去除率。該模型還支持通過集成數據庫和可編程邏輯控制器實現過程自動化。該設備采用現實的系統來應用所需的研磨或拋光壓力，這受到表面狀況的強烈影響。研磨拋光控制單元還包括一個完全集成的軟件包，用於監測、控制和分析研磨過程，以確保極嚴格的公差和連續晶圓數據收集。綜上所述，DNS/DAINIPPON AS 2000是一款高度先進的晶圓研磨、研磨、拋光機，提供卓越的晶圓表面光潔度，具有卓越的晶圓平度和厚度。它能夠對多種復合半導體晶片的表面進行精密、精確的研磨、研磨和拋光，並配有先進的工藝控制和安全系統，是各種尖端晶片加工應用的理想選擇。
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