二手 DNS / DAINIPPON AS-2000 #293821107 待售

ID: 293821107
優質的: 1998
Chemical Mechanical Polishing (CMP) System 1998 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,主要為半導體和MEMS制造業設計。該系統由三個主要組成部分組成:一個研磨主軸、一個研磨主軸和一個測量研磨主軸位移的編碼器,使操作員能夠實現嚴格、精確的公差。磨削主軸由高功率無刷伺服電機驅動,其轉速可高達48,000 RPM,在轉速和進給速率上均可調節,以達到所需的光潔度。研磨主軸還采用了大功率的無刷伺服電機,最大轉速為8,000RPM,單次移動可將晶片移動至30,000mm。研磨主軸位於頂板上,操作人員將晶片放置在頂板上。DNS AS2000提供了多種功能,旨在縮短工作時間並減少浪費。吸風機位於機組後部,除去研磨和拋光過程中產生的灰塵和其他微粒。此外,電機控制部件還配有絕緣陶瓷步進電機,可防止靜電充電的灰塵和顆粒,確保工作表面清潔。該機還具有全自動測量能力,使其能夠跟蹤研磨基準,並在設定點停止,以及一個快速更換的卡盤工具,允許更快的刀具轉換,以及一個傾斜高度調節器,讓操作員將研磨主軸的高度調整到各個層次。DAINIPPON AS 2000是適用於任何晶圓拋光應用的先進機器。它擁有一個專利的三點拋光方法,其中晶圓從中心向外研磨,確保均勻的光潔度。此資產還能夠處理特殊的形狀和大小,包括大型和復雜的輪廓。該型號的強大性能和準確性使AS 2000成為任何高級拋光應用的絕佳工具。
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