二手 DNS / DAINIPPON AS-2000 #9235501 待售

DNS / DAINIPPON AS-2000
ID: 9235501
晶圓大小: 6"
優質的: 2003
CMP System, 6" 2003 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000是專門為制造半導體晶片而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統能夠同時研磨和拋光多達八個晶片,使得高生產率的處理成為可能。它還提供精密的表面整理和高質量的圖案。這臺晶圓研磨、研磨、拋光機由一個帶真空夾緊機構的三維自動導軌單元組成。這臺機器允許更快的晶片從研磨轉移到拋光過程,從而減少制造時間。此外,DNS AS2000還采用集成空氣軸承設計,以實現晶圓的平穩、精確傳輸.它還有一個獨立的空氣冷卻工具,以防止熱應力。DAINIPPON AS 2000能夠實現7 nm或以下的優越表面粗糙度(Ra),並且在晶圓的正面和背面都具有鏡面光潔度。這種優越的精度是由於其精密的機器子系統,包括在所有軸上具有低間隙的運動學,以及提高精度的可變線性速度。用於控制主軸和磨頭的線性驅動器,可實現高精度和可重復的結果。DNS AS 2000資產的晶片尺寸很大,最大可達6英寸,容量可達8個晶片。在平面上進行研磨和拋光過程,使應力和翹曲最小,確保結果的準確性和可重復性。如果需要,AS 2000模型還提供了手工改動工藝的可能性。此外,設備還可以連接到第三方計量系統,以監測和優化過程。最後,DNS/DAINIPPON AS 2000晶片研磨、研磨、拋光系統提供了高生產率的加工、精密的表面精加工、優越的表面粗糙度和低應力工藝,以及快速調整和第三方與計量系統集成的可能性。
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