二手 DNS / DAINIPPON AS-2000 #9366258 待售

ID: 9366258
優質的: 1999
CMP System 1999 vintage.
DNS/DAINIPPON AS-2000是一種高性能晶圓研磨、研磨和拋光機,專為半導體和光伏行業的過程關鍵生產而設計。它具有高精度的研磨拋光設備、先進的磨料技術以及用於檢測和分析表面缺陷的集成數字圖像分析模塊(DIM)。DNS AS2000利用無沖擊研磨和磨削磨削來在基板表面上實現均勻、精細的光潔度。研磨拋光系統包括一個大直徑帶多電機控制速度和拋光特性。用於表面缺陷分析的集成DIM特征利用數字顯微鏡和顏色編碼圖分析來檢測、分類、量化和診斷表面缺陷。DAINIPPON AS 2000集高性能精度和可重復性於一身。通過利用電光反饋,控制單元允許更嚴格的公差加工和高度精確的工藝特性。這種精確的控制還允許使用數據收集和自動化進行過程監測和改進。機器中包括的先進磨料技術減少了加工時間,同時仍為基板表面提供了最佳、精細的光潔度。AS-2000支持標準和定制腔室,以及各種消耗品。它還兼容多種研磨和拋光工具,非常適合高通量生產和定制晶圓研磨應用。晶片大達12英寸。(300毫米)無需任何長度限制即可處理。可編程設計使得該工具能夠高度適應不同的工藝要求。DNS AS-2000設計用於安全、高效的操作,符合必要的安全和環境標準(ISO 9001和14001)。這種晶圓研磨、研磨和拋光資產是任何半導體或光伏生產設施的寶貴資產。
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