二手 DNS / DAINIPPON / SCREEN AS 2000 #9382445 待售

ID: 9382445
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
CMP System, 8" Process: Oxide 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON/SREEN AS 2000是日本公司DNS設計的晶圓研磨研磨拋光設備。該系統能夠在包括藍寶石和其他各種材料在內的多種基材上產生超光滑的飾面。該裝置采用精確運動控制、精確氣壓和專用磨料輸送方法相結合,達到最高平滑度。該機采用高頻超聲傳感器,在各種材料上均具有優異的研磨和研磨性能。另外,高頻換能器也不需要額外的研磨步驟。DNS AS 2000具有模塊化軸設計,其中所有運動軸相互關聯,並同時工作以提高精度和精度。刀具中的軸總數包括三個研磨、兩個研磨和一個拋光軸。它由伺服電動機和各種傳感器提供動力,包括力傳感器、zeta背景傳感器和刀架傳感器。力傳感器用於測量施加在工件上的力,而zeta背景傳感器用於測量資產周圍區域的背景溫度。刀架傳感器監視刀架相對於工件的運動。該型號能夠加工直徑不超過12英寸(304.8毫米)、厚度不超過8英寸(203.2毫米)的基板。SCREEN AS-2000的研磨速度高達50 m/s,典型研磨速度在0-2000 m/min之間。該設備可調節研磨和研磨壓力,後者可調0.5-10 bar。氣動系統還提供時間控制、研磨時間等多種模式的研磨型材。AS 2000配有手動控制臺,可從中定義研磨、研磨和拋光參數。此外,還提供了輸入和輸出接口,以便方便地訪問和控制設備。DAINIPPON AS 2000還配備了先進的微處理器控制單元,以確保精確的控制和平穩的操作。總體而言,SCREEN AS 2000是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光機,能夠生產高精度的超光滑飾面。該工具配有手動控制臺和界面,便於操作和監測參數,並提供多種模式和可調節的研磨和研磨壓力。
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