二手 EBARA C-1120-008-0001 #9130629 待售

EBARA C-1120-008-0001是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計的精度和可重復性.該系統構建在模塊化平臺上,可以定制以滿足特定的客戶需求。它由一個單級單元組成，可以配置為幹式或濕式操作。該機經過優化,可在最短的處理時間內產生平坦光滑的表面。這是由於它結合了研磨和拋光板，這是為了創造最佳的接觸壓力。此外，每塊板都配有兩個反向旋轉的傳動軸，以提供橫向運動，減少研磨所需的沖程次數。該工具由變頻驅動馬達提供動力，其調速範圍為零至2,000 RPM。該資產設計用於各種環境和條件,包括-10至+50攝氏度的溫度。該模型還配備了一個監控設備，使其能夠檢測過程參數的變化並作出反應。研磨板有金剛石或浮石兩種形式，其設計允許不均勻材料快速均勻變形。研磨板也極為耐用，能承受長期使用和高壓。拋光板設計為在晶圓表面產生高磨料接觸壓力，產生光滑、光滑的光潔度。這是通過持續監控晶片表面以確保在每個晶片上達到相同的表面光潔度來實現的。拋光板由氧化鋁制成，在莫氏刻度上硬度額定值為9.0，使其耐磨損。最後，C-1120-008-0001配備了一個控制單元，允許對整個過程進行監控，讓技術人員對過程進行快速調整，並對參數的變化做出反應。這對於保持一致的結果和確保生產出質量最高的晶圓至關重要。