二手 EBARA EAC 200bi #9157655 待售

EBARA EAC 200bi是由EBARA Corporation開發的一種精密晶圓研磨、研磨和拋光設備，以滿足半導體制造商的生產和維護要求。該系統的設計目的是提供優越的表面粗糙度、平整度和精確度,並減少浪費,以及縮短循環時間。EBARA EAC200BI的核心是其專利磨料單元,它具有兩個可獨立調節的磨頭。磁頭采用兩步研磨工藝，同時向兩個方向研磨，可實現更快的蠕變進料研磨和優越的拋光能力。機動化、可調磨輪由CBN或金剛石組成，提供高精度效果，效率更高。此外，該機還擁有一個用於高效樣品安裝和拋光的集成研磨壓板，以及一個用於無麻煩樣品交換的晶圓傳輸機構。為確保質量和性能一致,EAC 200bi設計具有多種功能,包括多層堅固的框架,可防止與振動相關的問題並在磨削過程中提供穩定性。該工具還提供高精度的線性導引資產，提供不到0.5微米的精度，以及一個特殊的冷卻油循環模塊，以防止刀具磨損堵塞。EAC 200 BI的精密軟件允許最多200個程序可以隨時存儲和輕松召回。此外,一系列內置安全功能可提供保護和安心,例如緊急停止開關,以便在緊急情況下快速關閉模型。激光幹涉儀也可用於測量晶圓位置和表面粗糙度。EBARA EAC 200bi是一種高效、可靠和高效的設備,用於按照嚴格的規格對半導體晶片進行研磨和拋光。該系統優越的質量、快速的循環時間和一系列的先進功能使其成為您所有磨削、研磨和拋光需求的理想選擇。