二手 EBARA EPO-112 #9246168 待售

EBARA EPO-112是一種可編程、精密、晶片研磨、研磨和拋光設備，專門設計用於制備晶片，用於高質量的背面變薄、濕蝕刻結果和其他制造工藝。系統的核心是數控控制器，它通過數字讀數提供對磨削、研磨和拋光操作的完全控制，以實現精確的重復性。該單元包括一個獨特的一件式Ringflex研磨板，提供三種尺寸的毛氈填充，允許薄，均勻研磨和拋光各種晶圓尺寸。一個可選的熱毯提供精確的均勻溫度控制，這對於超薄晶片稀釋操作至關重要。此外，Ringflex板和晶片支架上的箭頭機允許微調研磨和拋光操作。為便於過程重復性和可調性,該工具具有可編程的過程參數,包括產品尺寸、所需的拋光時間、研磨沖程、研磨壓力、沖程速度、研磨速度以及這些參數在整個過程中的動態分布。不同材料、晶圓類型和尺寸的工藝參數可以變化。該資產還配備了一個用戶友好和直觀的觸摸屏界面，可以方便地訪問每個處理步驟的設置和參數，同時能夠存儲多達20個預先編程的進程設置。智能保護模型還可以防止晶圓磨削和拋光工具損壞,包括磨盤、拋光墊和拋光輪。為了保護EPO-112設備的操作者，它采取了多種安全措施。一種自動安全系統，可以防止潛在的危險，例如骯臟的研磨板和有破損的研磨板的板。此外,機械磨盤保護裝置可防止操作員無意中接觸晶片,同時將磨盤鎖定在適當位置以確保可重復結果。該單元能夠根據需要蝕刻和/或研磨拋物線、圓形、矩形或其他形狀。該機還能夠快速高效地清潔研磨表面。一個可選的溶劑沖洗噴霧可以用來沖洗掉任何碎屑，而一個強大的去離子水噴霧工具使晶圓表面清潔速度更快。EBARA EPO-112資產為晶圓研磨、研磨和拋光提供了一種自動化、可重復、精確和高效的方法。該型號的觸摸屏界面、可編程參數、必要的安全特性以及可用的配件使其成為各種晶圓制造工藝的理想選擇。