二手 EBARA EPO-113 #293825809 待售

EBARA EPO-113是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,其設計目的是在各種復雜形狀上實現高平整度和低粗糙度,且精度極高。該機由一個容納幾個拋光頭的大直徑旋轉圓盤和一個金剛石磨輪組成，以及一個處理基材的磨料輸送系統。旋轉盤由能達到高達2000 RPM速度的強大電機驅動。旋轉盤負責在基板上提供均勻的壓力，以確保磨削和拋光材料的均勻分布。EBARA EPO 113附有專利的三級拋光單元，可以通過消除昂貴的手工拋光的需要來確保最佳的平整度和低粗糙度。這三個階段包括粗磨、精磨和拋光,每個階段都在不同的速度和壓力下進行,以確保均勻的表面光潔度,且材料使用最少。該機還具有允許高精度加工的自動三軸控制功能。該工具提供了大量標準功能和選項,使資產的操作變得輕松快捷。該機具有幾個安全功能，可以保護人員和設備，如緊急停止按鈕、安全開關和低壓斷開。該模型還包括溫度控制的供水，以確保運行過程中溫度穩定的環境。EPO-113非常適合超精密研磨、研磨和拋光應用,可用於生產先進組件,如IC芯片、MEMS設備、光電等復雜形狀。該設備具有高精度和可重復的效果，可用於快速高效地生產各種精密零件。此外，該系統還可以配備廣泛的創新工具和功能，以滿足客戶的需求。