二手 EBARA EPO-113 #293825811 待售

EBARA EPO-113是為研發應用而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。適用於磨削、研磨和拋光直徑不超過200毫米、厚度不超過5毫米的晶片。EBARA EPO 113將微處理器技術與精密光學元件相結合，提供穩定的研磨平臺，同時能夠很長的緩沖長度、較長的景深和較短的週期時間。該系統能夠在各類芯片上產生亞微米表面飾面；這些非常平坦光滑的表面非常適合半導體器件的生產。EPO-113具有先進的運動控制器，可提供快速、準確和可重復的運動，以實現亞微米精度。它還有一個3D視覺單元，可以檢測晶圓上微小的結構和表面變化。該機采用密閉室，有過氧化氫和氙氣氣氛，確保清潔無汙染的研磨研磨過程。EPO 113配備了各種工具和配件，如振動鍋、金剛石磨輪、拋光板、可調導環等。這些工具提供了廣泛的應用，使用戶可以輕松地進行各種類型的研磨、研磨和拋光操作。EBARA EPO-113具有單服務器控制體系結構,每天易於使用和監控。內置的安全功能和可靠的操作確保了工具的平穩高效運行。此外,用戶友好的圖形用戶界面（GUI）使操作變得簡單,並且無需掌握復雜的命令。總之，EBARA EPO 113是一款功能強大、用途廣泛的磨削、研磨、拋光操作工具，是研發應用的絕佳選擇。其先進的運動控制器和3D視覺資產使其易於操作，具有亞微米精度，而其高精度的工具和安全特性確保了可靠高效的操作。