二手 EBARA EPO-113 #9210283 待售

EBARA EPO-113是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在在其整個生命周期中提供高生產力和高質量。EBARA EPO 113具有精磨、研磨、拋光等先進技術的獨特組合。該系統允許操作員執行各種復雜的過程,包括後磨、前磨、研磨和直徑不超過6英寸的晶片拋光。EPO-113包括一個主機體、機底和機蓋、多個研磨主軸、自動裝卸表、轉移臂、分離器以及可選的研磨和拋光系統。主機體具有堅固、閉環的框架設計，能夠容納多個晶圓研磨和研磨主軸。主軸采用皮帶驅動，具有高速均勻旋轉的特點，確保晶圓研磨和研磨精確一致。機體還包括機械深度的切削控制、自動主軸鎖定系統、自動驅動系統以及傳感器，以確保配置的準確性。EPO 113的底座和蓋由輕質鋁合金材料構成。它們設計方便地滑入和滑出機器主體，以便對內部部件進行簡單的維護和測試。這種輕巧的設計還有助於EBARA EPO-113的高效裝載和運輸。EBARA EPO 113的裝卸由多個直徑不超過6英寸的自動裝卸表提供便利。自動轉運臂提供了多個拾取多個轉運地點，使晶圓在整個生產線中高效流動。分離器被編程為在加工完成後自動從生產線中移除晶片。EPO-113的可選研磨拋光單元采用獨特的水平和向下傾斜設計。這種設計確保晶片在傾斜的鍍層上輕輕「走」下去，以確保整個晶片表面的均勻性。這臺機器能夠達到納米級的表面光潔度。EPO 113是一種堅固且用途廣泛的晶圓研磨、研磨和拋光工具,旨在確保其整個生命周期的高生產率和質量。EBARA獨一無二地結合了先進的技術、自動化的裝卸組件,以及可選的研磨和拋光資產,EPO-113直徑不超過6英寸的晶圓的精密研磨、研磨和拋光的理想型號。