二手 EBARA EPO-113 #9219031 待售

EBARA EPO-113是一種先進的多功能晶圓研磨、研磨和拋光設備.它設計用於在具有不同要求的晶片上生產各種平坦、完美的表面。EBARA EPO 113將能力、精度和可靠性結合到一個系統中。EPO-113有兩個獨立的載流子，每個載流子都有四個3軸數控研磨主軸和兩個載流子。3軸主軸可以編程為在各種處理中產生均勻而精確的結果。兩個載波能夠以不同的功能獨立操作，使機器能夠單通進行多層磨削、研磨和拋光，這樣可以節省時間，提高精度和生產力。EPO 113裝有開槽表面板，用於晶片的安全定位，使整個單元的精度得到提高。該工具采用包括密封外殼和真空回收系統在內的空氣凈化裝置，以防止灰塵汙染。EBARA EPO-113具有高分辨率的數字顯示監視器,可直觀確認過程參數,提供良好的控制和可追蹤性。資產是模塊化的,可以根據客戶的特定需求進行配置,從而可以拆分模型,以便於運輸和存儲。EBARA EPO 113配備了先進的Sicoya控制軟件，使用方便，直觀。它使用戶能夠輕松地編程和控制多個過程,從而實現精確的晶圓處理。該軟件還允許數據記錄和晶圓工藝參數的可追蹤性，這對於晶圓加工的質量管理很有用。作為晶圓級拋光機，EPO-113為晶圓加工提供了出色的解決方案。其高精度的加工結果提高了產品質量和產量。其3軸設備在一次加工中執行多個處理步驟的能力大大縮短了晶圓加工的周期時間和成本。EPO 113系統旨在提供滿足精確要求的高質量平面。