二手 EBARA EPO-213 #293814768 待售

EBARA EPO-213
ID: 293814768
Chemical mechanical polisher.
EBARA EPO-213晶圓研磨、研磨和拋光設備是專為半導體生產線應用而制造的全自動機器。該系統采用兩階段研磨和研磨工藝,可產生可靠的效果,同時仍可提供易於操作和高吞吐量。EPO-213由基礎平臺、主軸組件、轉換器以及具有用戶控制的集成驅動單元組成。基地平臺容納機器的所有部件,由重型鋼材建造,以確保穩定的操作環境。主軸組件設計用於固定和研磨各種尺寸的晶片。這是通過利用一個卓越的冷卻和研磨機制,幫助減少晶片的碎裂和破碎迅速和有效地完成的。該工具還具有集成的研磨資產,可施加均勻且可重復的研磨壓力,以實現精確和改進的精加工質量。它還用作識別研磨過程中任何不規則性的基礎。EBARA EPO-213型號配備了一個變頻器,提供變頻驅動器,允許用戶調整主軸轉速以滿足所需的要求。此特性對於確保磨削和研磨過程的最佳效果非常重要。此外,該設備還包括一個用戶友好界面和一個觸摸屏顯示屏,用戶可以設計和編程他們正在處理的過程所需的確切參數。集成驅動系統是使EPO-213真正獨一無二的原因。此單元允許用戶通過提供有關磨削和研磨過程操作的詳細信息來絕對控制磨削和研磨過程。機器的用戶界面還提供配方功能,以便用戶可以存儲、召回並快速修改其研磨和研磨設置。總體而言,EBARA EPO-213晶圓研磨、研磨和拋光工具提供了可靠且一致的結果,完全符合公司工程師設定的公差。它易於使用,並且在開始之前需要最少的設置。它旨在確保一個可重復和準確的過程,同時還允許用戶快速、輕松地修改和保存他們的過程設置。
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