二手 EBARA EPO-222 #293760236 待售

由EBARA Technologies開發的EBARA EPO-222是生產精密半導體晶片的先進晶圓研磨、研磨、拋光設備。它具有幾個特點，使其在晶圓上達到小於納米的表面精度是高效和可靠的。該系統有一個大的溫度控制研磨室，防止溫度引起的金屬磨損和晶圓的破損。冷卻裝置有助於顯著降低熱梯度，同時保持室內溫度的控制。該機還有一個雙軸精密主軸，具有適用於研磨、研磨、拋光晶片的轉速範圍。壓板和晶片之間的可調壓力允許保證均勻結果所需的完美壓力。EBARA EPO222晶圓研磨拋光機具有堅固的設計、不銹鋼元件和可處理大量晶圓的帶有饋線的自動裝載機。它還配備了一個自動化拋光裝置，不僅具有一系列拋光循環，而且能夠動態調整拋光參數以適應正在加工的晶片。EPO 222工具是為在潔凈室環境中使用而設計的，其循環空氣資產最大程度地減少了灰塵汙染。此外，該模型還擁有先進的除塵和過濾系統，以及一系列安全功能，如緊急關閉和溫度監測。最重要的是，該設備還配備了集成相機系統接口，可自動測量和定位晶片以及跟蹤晶片處理操作。此外,專有晶圓測量模塊（PMM）可確保晶圓測量精度和可追蹤性。憑借其強大的設計、先進的功能和精確的測量,EPO222是一個功能強大的單元,旨在滿足生產和研究環境中的最高要求。無論是精磨、研磨還是拋光，EPO-222都是一次又一次生產高精度、高可靠性半導體晶片的完美工具。