二手 EBARA EPO-222 #293775099 待售

EBARA EPO-222是一種多用途晶圓研磨、研磨和拋光設備，用於制造級矽和復合半導體材料。該系統是為了最大限度的通用性和便利性而設計的，確保了高端晶片和基板的高效生產。該單元允許快速的表面研磨和拋光，以及晶圓邊緣的研磨和去毛刺。這臺最先進的機器具有真空晶片支架、堅固的直徑200毫米的板和可調節的工作速度，可進行全面的穿透磨削。該工具還包含一個嵌入式加熱器和自動溫度控制，用於工件的精確和均勻加熱。可調速度可定制至5,000至10,000 rpm的範圍，允許最佳研磨和拋光效果。此外，掃描定心和旋轉定位機構確保制造晶片的精度。EBARA EPO222的外輪和內輪是按照最高的質量和規格制造的，使其具有較長的工作壽命。此外，砂輪是固定的，並通過靈活的鎖定機構固定在資產的外殼上。磨輪還具有基於EC的控制模型和位置誤差檢測裝置，有助於消除轉動磨輪時的任何誤差。EPO 222的研磨和去毛刺工具具有可變移動速度、快速軸調整和伺服控制驅動器,可在處理過程中精確移動和保持一致性。此外，研磨刀具可以在旋轉和線性運動模式下操作，以有效地去除材料。此外，該設備還配備了先進的除塵室，以減少研磨過程中空氣中的灰塵，從而創造一個安全的環境。此外，安全功能還包括保護性掃描儀、近距離開關和應急開關等，並配有安全聯鎖裝置，以防止不必要的事故。EPO222也是高效率的，擁有令人印象深刻的僅僅是3KW的能耗。該系統是各種半導體材料精密加工的理想選擇。