二手 EBARA EPO-222 #293775100 待售

EBARA EPO-222是一種精密表面整理機，設計用於晶圓的研磨、研磨和拋光，以及尺寸較小的元件。適用於需要快速、準確和可重復結果的半導體和光電應用。磨頭、研磨板、拋光板精度高，設計在表面光潔度質量方面提供卓越性能。變速Y軸和X軸表允許用戶輕松調整研磨頭的位置以獲得所需的曲面效果。該機設有三個獨立的拋光站，可用於不同的材料。可以借助XY軸可調表精確定位拋光墊。磨料介質安裝在獨特的「U」形拋光頭中,以確保一致的拋光性能。EBARA EPO222配備了一個全自動機械臂，便於從加工區裝卸晶片，以及自動交換磨料介質和拋光墊。該設備還設計有激光對準系統和自動濾波器清洗功能，有助於提高過程的重復性和減少介質消耗。該機器通過控制器操作,控制器具有直觀的觸摸屏界面和易於理解的操作菜單。該設備還具有數據日誌,可隨時間精確監控所有工藝參數,包括時間和介質消耗率、溫度、RPM和研磨/拋光結果。總之,EPO 222是一種先進、通用的晶圓研磨、研磨、拋光機.它提供可重復、準確的結果，具有高精度的表面光潔度質量，適用於各種精密應用。直觀的操作界面和自動化功能使該工具成為一種理想的解決方案,能夠以最小的工作量實現高水平的表面光潔度質量。