二手 EBARA EPO-222 #293809026 待售

EBARA EPO-222晶片研磨、研磨和拋光設備是一種最先進的系統,旨在精確研磨直徑達200毫米的晶片、膝部晶片和拋光晶片。它非常適合CMP（化學機械拋光）和MEMS（微機電系統）等應用。該裝置配有數字伺服電機，可精確控制磨削和拋光操作。它有一個用於定位和加載晶片的旋轉表。該表可以很容易地調整，以達到裝卸晶片所需的位置。磨輪由三相交流電動機驅動，可以在速度和時序上進行調節。車輪有一個半圓形的砂輪和它的兩個側面-一個側面研磨和一個側面拋光。車輪通過柔性耦合器與驅動馬達耦合。研磨輪由一個獨立的三相交流電機驅動，該電機由速度控制。它由不同砂礫尺寸的車輪組成,具體取決於您要搭接的材料類型。車輪與磨輪同步,允許您同時將晶片的頂部和底部合圈。拋光輪由另一臺三相交流電動機驅動，具有種類繁多的研磨介質，可進行濕拋光和幹拋光。車輪也通過柔性耦合器與驅動馬達耦合。該機器的設計是通過提供恒定的研磨和拋光輪速度來保持精度和可重復性。磨削和拋光過程的粗糙度可以通過調整磨削和拋光介質的進料速率來控制。該工具被封裝在不銹鋼外殼中，以防止腐蝕和易於清洗。該房屋有一個內置的過濾資產，用於防塵、防煙和防霧。在內部，強大的空氣循環模型從工區清除塵埃顆粒。EBARA EPO222是用於磨削、研磨和拋光直徑達200毫米的晶片的可靠高效設備。該系統允許一致且可重復的研磨和拋光過程。憑借其強大的伺服電機、可調轉臺和研磨輪以及多種磨料介質，這一單元為CMP和MEMS應用提供了理想的解決方案。