二手 EBARA EPO-222 #293813196 待售
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單擊可縮放
ID: 293813196
晶圓大小: 6"
Chemical Mechanical Polishing (CMP) system, 6"
Open cassette type load and unload on Left (L) and Right (R) sides
Roll and roll unit cleaner on L and R sides
Pencil unit cleaner on L and R sides with spin dry capability
Polisher on L and R sides
Normal head top ring on R side
I Head top ring on L side
Dresser on L and R sides
Ceramic platen type turn table on L and R sides
Pusher on L and R sides
(2) Rorze robots
Turnover on L and R sides.
EBARA EPO-222是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於對各種半導體材料進行高精度處理。該系統采用固定床安裝底座和直線電機驅動的磨輪。磨輪安裝在兩個可調節的支座上，這兩個支座允許通過手動控制來調整角度和高度。圓盤式磨輪用於將工件磨削到特定平面，並將其拋光至所需的表面粗糙度。它也用於研磨和拋光，以達到較高的光潔度質量。該單元還配備了精密空氣軸承，可以移動磨輪，使平面和晶圓頂面保持平行。此外，EBARA EPO222還配備了車載CCD攝像頭，可讓操作員從操作面板上觀察工件表面。也可用於對準、測量等用途。該機可用於加工多種材料，包括矽、藍寶石、石英和其他半導體材料。它還配備了一個用戶友好的操作工具，便於操作和維護。EPO 222是一種可靠、精確的設備,可提供晶圓研磨、研磨和拋光元件的高精度加工。它允許快速準確地生產符合確切規格的組件。該模型旨在幫助提高任何自動化過程的質量和生產率,為各種行業提供高效可靠的解決方案。
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