二手 EBARA EPO-222 #293816528 待售
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EBARA EPO-222是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,為半導體和其他精細元件的最終精密加工提供了一種低成本的解決方案。該系統的設計目的是在包括金屬、陶瓷、玻璃和塑料在內的多種材料上產生高精度的研磨、研磨和拋光效果。EBARA EPO222采用單碟研磨拋光工藝,能夠在所有零件上產生亞微米光潔度,無論大小或形狀。這一單元擁有豐富的功能,能夠多功能性,高精度的表面光潔度和各種拋光水平。它具有電動旋轉臺、精密控制和可重復性,對0.1微米至3mm各種厚度的材料進行均勻鈍化和平面化。電動旋轉表提供了晶片的精確和可重復的旋轉,從而能夠在單個操作中處理大量零件。該機使用精密的切割刀片進行拋光,可以單次加工大型樣品,以及非標準形狀,以及平坦和彎曲的表面。變速控制可確保光潔度和平行性公差的結果一致。微米可調節軸承在拋光過程中支撐晶片以獲得可重復的結果。該工具還具有全自動的板式更換資產,可用於高效的板式更換。主軸驅動安全模型和自動卸載設備降低了受傷風險,提高了效率。該系統可適應不同的自動化配置,經濟高效地使用,同時保持高度的精確度和可靠性。該單元配備了一大堆精密而又人性化的功能,如密碼控制、多步生產節約、最多5步研磨序列控制、預設預磨、超精密研磨、自動操作記錄等。這些功能不僅可以節省時間,還可以提高性能和質量。此外,該機設計環保。封閉式研磨室可確保操作過程中沒有汙染物釋放到大氣中。EPO 222為高精度研磨、研磨和拋光需求提供了理想的解決方案。
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