二手 EBARA EPO-222 #293821171 待售

EBARA EPO-222
ID: 293821171
晶圓大小: 8"
CMP System, 8".
EBARA EPO-222是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於研磨和拋光各種材料的平面表面,包括介電、金屬、矽和石英。該系統用途廣泛,用戶友好,為不同類型的拋光工藝提供了靈活性。該裝置由兩個主要部件組成:一個裝有機電主軸的拋光機和一個集成的研磨拋光站,以及一個用於圓盤狀晶片的傾斜支架。拋光站在環形區域內旋轉和振動晶片,允許研磨和拋光硬和軟材料。主軸可以在100至500 rpm的轉速範圍內操作,用於不同的硬質和軟質材料,以及不同的研磨和拋光任務,以便根據需要進行最佳定制。EBARA EPO222機裝有堅固的框架,安裝在腳輪上,便於移動。這使得它非常適合長期應用或移動應用,無論大小。該單元還包括一個集成的拋光和研磨過濾器,以保護設備免受在研磨和拋光過程中會影響過程的細小顆粒積聚。EPO 222的用戶友好界面允許為各種晶圓研磨和拋光需求輕松設置程序。通過界面,用戶可以選擇不同級別的拋光和研磨選項、材料選擇、速度設置和保持時間。此外,界面還提供了用戶自身程序和數據的便捷導入。該工具還允許完全控制拋光後的活動。這包括監控速度、速度變化、功耗和測試結果的能力,以及日常維護的調度。操作員還可以通過單擊按鈕訪問各種維護工具。EPO222資產是一種可靠、經濟高效的拋光和研磨操作解決方案。憑借靈活的設計和用戶友好的界面,它使操作員能夠按照嚴格的標準制造高性能部件,同時確保速度、功率和精度。
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