二手 EBARA EPO-222 #9159058 待售

EBARA EPO-222是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備。本機設計用於半導體等材料基板的精密高效加工。它非常適合用於研究和開發以及用於生產目的。該系統由一系列安裝在軌道上的階段組成，每個階段都設計用於執行過程中的特定任務。第一階段是研磨。研磨階段利用陶瓷砂輪將基材減小到所需的尺寸和形狀。最大可減小0.22 μ m。第二階段是研磨。它使用金剛石磨料進一步細化基板表面，提供了高精度和可重復性。第三個也是最後一個階段是拋光，利用一系列液體和漿料拋光工藝將基板表面提煉成鏡面。EBARA EPO222還配備了多種傳感器和軟件來自動化和優化過程。該裝置配有一個自動調制裝置，為每個工序分配所需數量的化學品。此外,它還包括OPC（光學過程控制）技術,該技術使過程自動化,並通過實時圖形分析提供有關進度的反饋。機器的配置高度可定制，可以適應各種基材和任務。其最大基板尺寸容量為4英寸（100毫米），並采用了一系列可消毒的研磨、研磨和拋光工具。它也與廣泛的磨料兼容。利用所有這些功能,EPO 222是一個功能強大且非常精確的工具,每次都會產生完美的結果。