二手 EBARA EPO-222 #9293808 待售

EBARA EPO-222是一種全自動設備，設計用於晶圓和晶圓邊緣的精密研磨、研磨和拋光。它是一臺高通量的機器，具有270毫米的研磨和拋光面積，能夠以經濟高效的方式對大批量晶圓生產進行優化處理。該機器非常適合處理300 mm和300 mm寬I/O晶片,並且還能夠處理所有常見的芯片類型。該系統由7.5 HP、2800 rpm主驅動電機提供動力,可提供最佳的研磨、研磨和拋光性能,而不會產生任何振動或共振。它還具有兩級皮帶驅動單元和可調節的張力機，有助於最大程度地減少過載造成損壞的風險。EBARA EPO222包括一個可編程的高速主軸和精確的線性定位工具,以幫助精確定位和精確研磨能力。主軸由高速微步進電機驅動，便於光滑甚至晶圓研磨。此外，還有一個集成的變頻驅動器（VFD）來調節主軸轉速，以便容納各種材料。機器還包含一個中央研磨資產與自動樓梯進料模型，幫助實現快速和準確研磨操作。它還包含一個兩級拋光設備，帶有一個振蕩電動機，在晶圓邊緣和表面上達到非常高的表面光潔度。研磨拋光系統包括一個集成的真空吸塵裝置，以確保清潔和可靠的操作。EPO 222帶有一個尖端的軟件界面,允許對系統設置（如研磨速度、功率、通過次數、研磨角度和拋光壓力）進行全面定制。它配有觸摸屏監視器和強大的HMI（人機接口）控制，便於操作和監控過程。總體而言，EPO222是一臺功能強大、經濟高效的精密晶圓研磨、研磨和拋光機，性能極佳，浪費最少。它具有強大的7.5 HP主驅動馬達、高速主軸、有效的樓梯進給工具和精致的HMI。這使其成為高效處理最大表面質量的大容量晶片生產的理想資產。