二手 EBARA EPO-2226D #293749187 待售

EBARA EPO-2226D是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光機。其獨特的設計允許使用單個主軸對大型晶片（直徑高達200毫米）進行高精度、單程研磨、研磨和拋光。由於主軸永遠不會離開晶片，因此不需要在每個工藝之間進行昂貴、復雜和不準確的機械轉移；從而提高了精度，大大縮短了周期時間。EPO-2226D由能夠提供高達200Nm扭矩的高容量主軸電機驅動。其多重速度控制支持各類晶圓研磨、研磨和拋光工藝。這允許應用低速、中速或高速研磨、研磨和拋光,具體取決於工藝達到最高產量的要求。該機由一臺西門子PLC和一臺19英寸HMI供電，持續監控，以確保最佳運行和安全。這也可以方便數據輸入和操作，並創建一個集成系統，以便於維護和操作。EBARA EPO-2226 D的高精度、閉環伺服控制系統有助於獲得極精確的結果和可重復性。這是通過其交流伺服電機實現的，它能夠快速響應不斷變化的條件。它還使用兩個諧波驅動器來控制居中和總壓力,同時允許多個磁盤識別,而無需手動校準。EPO-2226D包括一個完整的外殼，具有除塵和粒子監測能力，使設備適合在惡劣的環境中使用。為了提高安全和衛生，設計中集成了壓力和流量傳感器，監控除塵系統的運行，以及多種附加的保護和除塵元件。EBARA EPO-2226D的總體優勢是周期時間快，在安全、清潔的工作環境中具有精確、高產的效果。該機器經過設計，能夠提供可靠、可重復的性能，允許長期的生產力和穩定性。