二手 EBARA EPO-2228 #293658079 待售

EBARA EPO-2228是一種最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在提供生產環境中優越的表面精加工。該系統能夠在單面和雙面晶片上產生高精度、細公差的表面。該單元包括一臺高效研磨研磨機，以及一個精密拋光頭的應用最終完成。磨床具有垂直取向的臺面和內置的磨輪；它能夠產生高精度和可重復性的平坦地面。研磨機裝有兩塊扁平、獨立控制的研磨板；這樣可以確保在晶片上形成完全平行的平坦表面。機器的拋光頭能夠提供高度拋光的表面光潔度；頭部安裝在旋轉臺上，以便在整個晶片上進行精細拋光。強大的真空工具確保有效去除拋光殘留物。整個資產由定制軟件驅動，允許完全自動化和精確的研磨、研磨和拋光循環。該模型提供的自動化水平無與倫比；該設備能夠自動檢測表面缺陷和氣泡，以確保完美的結果。EBARA EPO2228旨在以最小的人工幹預提供最大的生產率。該系統的窄輪廓非常適合集成到現有生產線中,其效率和可靠性使其成為各種晶圓精加工應用的理想選擇。該裝置有望在晶圓表面光潔度方面提供卓越的效果，最快的速度和最小的人為幹擾。