二手 EBARA EPO-2228 #9203972 待售

EBARA EPO-2228晶圓研磨、研磨和拋光設備是用於半導體、電子和光學材料精密表面精加工的先進自動化解決方案。該系統能夠制造和測試從高精度MEMS元件到超高密度光波導的各種先進設備。EBARA EPO2228的核心是一對高性能主軸電機和相關的驅動單元，它們產生超精密、可編程的研磨、研磨和拋光操作，其精確度在許多高端應用中至關重要。馬達與碳化物、金剛石等高強度材料配對，使主軸容易處理高溫合金、硬質陶瓷等最困難的材料類型。該機配備了多項先進的可編程功能，允許可重復的單步操作、批量生產運行和自動測試序列。軟件支持使用定制的工作夾具,允許靈活和可重復的操作。這允許運算符在從一種材料類型切換到另一種材料類型時快速建立工藝設定點並重復這些精確設置。EPO 2228機器還配備了智能錯誤恢復功能，可以在發生意外過程中斷時自動召回最後驗證的研磨、研磨和拋光程序。此功能允許工具在不等待有人幹預的情況下立即恢復過程,從而有助於加快生產速度。資產還能夠進行精確的過程中測量,以確保過程的完整性,並確保達到符合客戶要求的精度水平。嵌入式監控功能還能夠在進一步處理材料之前提醒操作員註意問題,從而可以立即采取糾正措施。EPO2228晶圓研磨、研磨和拋光模型是一個非常精確和自動化的解決方案，用於制造和測試苛刻的材料。這種無與倫比的精確度和自動化的過程控制相結合,可以提高產量和節省成本,同時確保可靠、高質量的產品。