二手 EBARA EPO-222A #9279381 待售

EBARA EPO-222A是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備，非常適合加工半導體晶圓、結晶石英、陶瓷等直徑達8英寸的材料。該系統具有易於使用的圖形用戶界面（GUI）,允許參數設置和過程控制。該機采用獨特的可編程交流主軸驅動裝置，在低速或高速運行時提供精確的速度和扭矩穩定性。主軸由重型車廂包裹，帶有雙工軸承和氣動軸承，以確保研磨和研磨板的可靠夾緊。由於主軸頭的精確對準，主軸角可以高精度地調整或保持。EBARA EPO 222A提供了廣泛的研磨、研磨和拋光操作,集成GUI易於選擇。研磨作業包括平面研磨、半導體研磨、微精磨。研磨操作包括CMP研磨和雙面研磨。拋光操作包括濺射、電拋光和化學拋光。EPO 222 A配備了一個完全集成的工作臺解決方案,有助於確保一致和高精度的結果。先進的晶片卡盤機具有真空夾具和可調節的刀片，可輕松校準，為每個應用提供最佳效果。此外,卡盤工具還利用反饋控制在研磨和拋光過程中保持一致性.再者，該機還配備了一系列安全功能，以確保最大限度的安全性、可靠性和多功能性。這些安全功能包括全自動緊急停止資產、工件和安全狀態的三級指示燈以及緊急停止開關。此外,還安裝了一個專用遠程操作端口,使操作員能夠通過包含的GUI進行所有參數和控制設置。對於現場維護,EPO-222A配備了由備件、過濾器元件和各種工具組成的集成維護包。技術人員還可以通過熱線或電子郵件獲得專門的技術支持服務，任何查詢和投訴都會受到歡迎，並迅速采取後續行動。EBARA EPO 222 A代表了可靠和先進的晶圓研磨、研磨和拋光模型。它旨在提供高精度的操作和可靠的結果,以及最大的安全性、易用性和靈活性。