二手 EBARA EPO-222A #9293809 待售
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EBARA EPO-222A晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種先進而精確的研磨和拋光系統,旨在提供半導體制造的精確度和可重復性。該裝置采用先進的兩站式旋轉臺,最多可同時工作四個獨立的研磨、拋光和研磨頭,以達到最大的工藝效率和吞吐量。它有一個堅固、安裝的底座,最多包含八塊晶圓。EBARA EPO 222A晶圓研磨、研磨和拋光機具有高級編程GUI,用於控制機器的所有參數,包括進料速率、壓力和加工時間。這樣可以確保用戶在每次運行時始終獲得所需的結果。此外,該工具還為用戶提供了快速的安裝時間,以便他們能夠在幾分鐘內開始運行。EPO 222 A有一種先進的金剛石擠壓機,在整個工藝晶片上施加精確均勻的壓力,消除了刮擦和扭曲。機器可以加工直徑達200mm或8.0in的晶片。其先進的ACE全息幹涉測量技術保證了晶片沒有缺陷.EPO 222A利用液態金剛石、油和磨料的組合來精加工晶片。這使機器能夠提供高表面飾面和出色的邊緣準備。此外,該模型還可以控制研磨、拋光和研磨的單個進料速率,從而使用戶完全控制其過程。EBARA EPO 222 A提供了非常廣泛的安全功能。這包括一個內置的安全裝卸站,以及裝有真空設備,以消除粉塵研磨和研磨汙染的所有機會。再者,系統的主動安全單元不斷監控整個機器,意味著任何危險或意外情況都會立即被檢測出來並得到照顧。總之,EPO-222A晶片研磨、研磨和拋光工具是一種可靠、精確的機器,它結合了用戶友好的編程和先進的安全特性。它提供均勻的精加工和邊緣制備,具有最小的缺陷和汙染風險.它需要極少的安裝時間,這對任何用戶都是一個巨大的好處。總體而言,它是生產用於半導體制造的高質量晶片的理想機器。
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