二手 EBARA EPO-222D #293669538 待售
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EBARA EPO-222D是一種高精度、多功能的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它經過精密設計，在半導體晶片的研磨、研磨和拋光方面達到盡可能高的精度和可靠性水平。將先進的真空加工技術與極其高效穩定的超精密加工相結合,EPO-222D提供了最高水平的性能。EBARA EPO-222D具有強大的研磨主軸,輸出功率為180 W。該主軸能夠研磨直徑達200 mm的矽半導體晶片,速度高達30,000 rpm。主軸具有用於顯示速度控制的顯示控制旋轉。主軸還允許根據預期工藝的需要選擇車輪更換或變頻。EPO-222D還包括真空卡盤和高精度平板研磨臺。卡盤表具有精密加工的表面,可實現均勻、可重復的研磨和研磨過程。真空卡盤也可以在不需要額外緩沖或扁平機構的情況下研磨扁平矽片。研磨臺設計用於在晶片上提供超光滑光滑的表面飾面。EBARA EPO-222D還具有先進的控制系統,可對磨削工藝參數（如深度、速度和表面質量）進行精確控制和自動測量。該單元還允許用戶在研磨和研磨過程中將晶片氧化和熱損傷的風險降至最低。此外，EPO-222D還配備了令人印象深刻的除塵機，可以幫助保護拋光工具和工作環境免受灰塵顆粒的侵蝕。通過使用專用過濾器和強大的風扇使除塵工具變得高效。此外，創新的除塵器設計用於將石粉粉塵與晶圓顆粒和輕質塑料粉塵分離，從而防止出塵。EBARA EPO-222D是一種強大而可靠的晶圓研磨、研磨和拋光資產,旨在對各種半導體材料和尺寸進行高質量的研磨。EPO-222D具有先進的技術和高效穩定的研磨主軸,能夠在短時間內提供極其精確的結果。結合優越的控制模式和先進的除塵設備，EBARA EPO-222D是任何晶圓研磨、研磨和拋光需求的理想選擇。
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