二手 EBARA EPO-222D #293749188 待售

EBARA EPO-222D是一種先進的用於半導體晶片精密加工的濕磨、研磨和拋光設備。它旨在為具有廣泛處理功能的大直徑晶圓應用提供最佳表面光潔度。它采用復雜的多層驅動系統設計,允許操作員控制特定於每個應用程序的壓力和速度。該機器利用安裝在穩定基座上的旋轉工作面。這種工作表面放置在半密封的工廠環境中，使其不受外部灰塵的影響，並防止矽片的交叉汙染。它配備了高度先進的高壓研磨平臺和一系列金剛石研磨工具，通過逐層去除材料來實現平整精準的表面光潔度。磨削裝置設計用於精確控制金剛石磨削工具對晶圓的接觸壓力和相對速度。這樣即使使用大面積晶片也能實現嚴格的公差。該機組還采用液冷研磨環境優化工藝。它能夠處理多種類型的半導體材料，從矽和移到砷化氙和高溫超導體。機器設有多區清洗段，用於清洗晶片。該單元由幾個旋轉過濾器和刷子組成，有助於在每次操作前後同時清潔工作表面和金剛石磨削工具。該工具還有一個拋光單元，利用拋光膜和化合物來微調表面光潔度。此工藝可配置為滿足各種表面光潔度要求。EPO-222D還設計有外部冷卻設備，以防止晶圓和金剛石磨削工具的熱損壞。其先進的控制模式，包括自動校準和實時監視器，使操作員能夠持續監控過程的完整性，以確保性能一致，減少設置時間。設備還具有實時CPU監控功能,使操作員能夠診斷和識別任何機械問題。EBARA EPO-222D是用於大直徑晶片精密加工的先進且通用的解決方案。憑借其多層驅動系統、精確的壓力控制和廣泛的處理功能,它提供了高度的控制和靈活性,可幫助提高半導體應用的生產率和降低成本。