二手 EBARA EPO-222T #293662648 待售
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EBARA EPO-222T是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於半導體和其他非金屬基板。該系統具有堅固可靠的設計,可實現一致和高質量的結果。該單元是為處理不同尺寸和厚度的基板而量身定制的，可用於包括晶圓變薄、拋光、表面研磨和邊緣研磨等多種操作。該機由一個主兩軸可調表和一個三軸機械臂組成。雙軸可調工作臺可用於放置基板並在工作區中四處移動,以及傾斜和優化拋光/研磨操作。機械臂可用於處理直徑不超過200毫米的基板,並允許基板在工作區內進行精確和可重復的移動。EBARA EPO222T還配備了冷卻劑工具，為磨削和拋光輪提供冷卻劑，以更好地管理操作過程中產生的熱量。此外,該資產還可以配備空氣刀,以實現最佳冷卻和延長磁盤壽命。EPO 222T配備了兩套研磨/拋光工具，每套工具都可以根據應用進行不同類型的操作。第一套包括金剛石磨輪、金剛石研磨盤和變速操作拋光墊。第二套工具由磨輪、研磨盤和拋光墊組成，用於高質量的拋光操作。這些工具旨在研磨和拋光各種基材，如石英、矽和GaAs。該車型還配備了高度可靠的安全防護設備。該系統包括移動安全防護裝置、聯鎖裝置和緊急停止按鈕，旨在確保設備的安全運行。此外,EBARA EPO 222T旨在滿足CE、RoHS和WEEE等國際安全標準。EPO222T是一臺用途廣泛、可靠的晶圓研磨、研磨和拋光機。該工具具有堅固和重型的設計，使其能夠在各種半導體和非金屬基板上進行一致和可靠的操作。該資產配備了兩套研磨/拋光工具、冷卻劑模型和安全設備，允許以最大的安全性和可靠性進行最佳的研磨和拋光操作。
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