二手 EBARA EPO-222T #9238850 待售

EBARA EPO-222T是一種高性能晶圓研磨、研磨和拋光設備,在每種應用中都能提供卓越的效果。這臺機器設計用於矽晶片的精磨、研磨和拋光等工藝。該系統可應用於Si、SiC、GaN等多種基材。EBARA EPO222T采用多步設計,使其能夠以高效、可重復的光潔度處理不同直徑、厚度和材料的晶片。它由一個主外殼框架和一個底座安裝的四軸數控控制器、研磨/研磨頭以及各種外圍子系統組成。研磨/研磨頭由具有可調速度和進料的重型主軸組成，允許使用者根據應用微調研磨/研磨過程。該設備具有低噪聲操作環境,可提供高達95 dB （A）的噪聲保護。為了減少振動，采用了輔助舷外主軸驅動。它還具有高強度照明機器，使用戶能夠準確和詳細地觀察他們的過程。此外，還提供了一套安全警衛，以確保最大限度的行動安全。EPO 222T配備了離心拋光輪，能夠單次在晶片上實現拋光光潔度，其全自動拋光模式提供了旋轉速度可調、轉速可調、拋光壓力可調等先進特性，幫助用戶實現最高的最終拋光質量。該工具易於使用、速度快、效率高。它可以手動操作，也可以用各種參數編程，以適應每個用戶獨特的應用需求。最後，整個資產被安置在一個小的封閉式阻尼蓋，有一個可選的真空塵埃收集單元，以盡量減少塵埃散布。