二手 EBARA EPO-222T #9357639 待售

EBARA EPO-222T是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於制造和修理先進的基材。它采用旋轉主軸系統，可最大限度地提高研磨、研磨、拋光精度和效率，精度± 5 µm，分辨率為0.01µm。該裝置能夠處理直徑可達8英寸、步高可達0.5毫米的晶片。EBARA EPO222T具有高品質的主軸設計，保持0-1,000 rpm的穩定轉速。它的六軸CNC控制配置允許輕松地安裝研磨工具,用於精確研磨、研磨和拋光過程。該機還具有額外的自由移動軸，以實現快速、輕松和精確的晶圓定位。該工具包括一個直接驅動電動機、一個用於精細電動機轉速控制的交流變頻器、一個Z軸執行器、一個主軸頭、一個索引卡盤和一個拋光夾具。高度適應性的資產能夠根據用戶的工藝要求進行多種磨削和拋光條件。主軸頭設計有一個用於反饋控制的旋轉編碼器，允許恒速和扭矩控制。這樣可以確保晶片均勻研磨和拋光，達到盡可能高的精度和表面質量。索引卡盤配有光學編碼器和精密加工凸輪輪廓，可快速高效地裝卸晶片。它還允許快速、精確的研磨工具、磨料帶和滾筒更換。拋光夾具采用鐵磁設計，可以將晶片固定在可旋轉的桌子上。這樣可以確保晶片在研磨和拋光過程中牢固地固定到位,從而獲得最佳效果。除了簡單、用戶友好的設計外，該模型還具有卓越的精度和可重復性。它還具有先進的安全功能，如緊急停止開關和磁性制動設備，以確保操作過程中的安全。EPO 222T是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光系統，非常適合生產和修理先進的基材。它具有堅固的主軸設計和多達七個運動軸，以最大限度地提高精度和效率。其安全特性使其成為確保產品可靠性和性能的可靠工具。該裝置質量高，是制造和修理先進基材的理想選擇。