二手 EBARA EPO-222T #9412401 待售

EBARA EPO-222T是一種高度先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在實現最佳的生產效率和優越的產品質量。這種經濟高效的系統具有最先進的波形生成控制、前沿研磨技術以及用於精密加工的雙軸主軸控制。該裝置為各種半導體和微電子應用提供高速處理能力和自動研磨和拋光。EBARA EPO222T的組成部分包括一個全封閉的預先設計的加工室，該加工室有一個全寬的3英尺長的加工室和一個頂部裝載的機器人工作區，以便安全高效地操作。該機還設有三軸運動控制工具，兩臺高扭矩同步電動機和伺服電動機相結合，提供卓越的精度、重復性和高速運行。先進的研磨主軸設計采用高功率電機,可精確控制進料速率和速度,從而確保平滑、一致的表面光潔度性能。易於使用的觸摸屏界面和直觀的圖形編程軟件使操作員能夠快速設置其工藝參數，並通過按下按鈕來調整加工參數。一個先進的工具對齊資產，以最小的操作員幹預確保優越的結果。EPO 222T還配備了一個自動安全模型,具有安全墊、輕型窗簾、操作員互鎖功能,並具有恒定的向下查找功能,以實現清潔、安全的操作。該設備與自動化數據收集系統完全集成，使操作員能夠儲存和監測其流程數據，以便進一步分析。該裝置還具有一個自我調節的回收機，可以快速和安全地夾緊，鎖定和對齊，以達到最佳性能。最後，該工具具有先進的除塵設備，具有HEPA過濾和遠程監控功能，以提高安全性。EBARA EPO先進的特點、堅固的構造和直觀的用戶界面222T使其成為各種半導體和微電子應用中磨削、研磨和拋光的完美解決方案。這種成本效益高、可靠的模型以最小的操作員幹預提供了優越的效果；確保準確、可重復和高質量的結果。