二手 EBARA EPO-223 #293636272 待售

EBARA EPO-223是一種專業級的自動化晶圓研磨、研磨和拋光設備。系統的設計是完全自動化的，讓用戶能夠快速輕松地執行整個晶圓生產過程。該機組使用精密控制的高速主軸來研磨、搭接和拋光直徑達300毫米的晶片。該機采用機器人晶片裝載機和卡帶定位器，有助於減少循環時間。膝板的尺寸和轉速可以借助直觀的觸摸屏界面進行調整，以確保不同應用和材料的更高精度。此外，該工具還配備了先進的安全功能，如緊急停止開關、燈簾和聯鎖裝置，以確保操作員的安全。該資產的設計還采用了專用的灰塵控制功能,使環境保持在最佳的潔凈室規格之內。為了進行研磨，該模型裝有一個3軸主軸，該主軸被編程成獨立地剖析晶片。主軸由高扭矩電機驅動，使其達到高達22,000 rpm的速度。磨頭可調節以滿足各種晶圓尺寸、材料和工藝要求。主軸還配備了基於加速度計的速度控制設備，進一步提高了研磨工藝的精度。EPO-223的設計也使用戶能夠有效、快速的搭接晶片。該系統采用超精密空氣軸承，以較高的精度控制膝蓋臺架的旋轉。膝部工作臺采用氣動驅動，設計有真空杯泵，有助於在研磨過程中將晶片牢固地固定到位。此外,還可以調整圈板以確保不同材料的最佳效果。拋光過程通過設備的自動拋光頭處理。拋光頭具有可調節的拋光墊,可處理3至300毫米的晶圓尺寸。該機還結合了6軸機器人臂和均勻控制拋光機，幫助確保了一致的拋光光潔度。機器人手臂還裝有數控端效應器，這有助於使過程自動化，減少循環時間。EBARA EPO-223采用高級材料和組件構建,以提供卓越的性能和可靠性。該工具符合CE、UL和ESD認證,保證安全使用。此外,EPO-223得到全面保證的支持,確保長期的安心。