二手 EBARA EPO S-010 #159147 待售

EBARA EPO S-010是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，為復合半導體和石英材料提供高精度表面處理。該系統采用中心旋轉頭設計，可同時進行晶圓研磨、拋光、研磨和拋光工藝循環。它采用不銹鋼和堅固合金制成，保證了該單元的高耐用性和高效率。EPO S-010機的旋轉頭設計提供了高度均勻的表面光潔度以及快速、精確的處理。該工具使用金剛石磨削工具，設計用於高效拋光晶片的邊緣和表面，從而產生高精度、表面光潔度甚至芯片密度。資產還具有旋轉拋光布，可以設置成產生均勻的厚度，允許一致的表面光潔度和防止表面損壞。EBARA EPO S-010有一個內置的數字控制器，旨在優化磨削和拋光工具的工藝參數和參數，以及簡化模型的設置和操作。這樣可以輕松操作和快速處理周期。數字控制器還具有各種設置,用戶可以保存和回憶其研磨和拋光參數,從而確保工藝參數的可重復性和準確性。除了EPO S-010的高級功能外,該設備還能夠以最短的時間輸入實現最高的表面光潔度值,並為硬質和軟質材料提供卓越的效果。該系統采用創新的金剛石圓盤技術（DDT）機制，確保金剛石磨削工具的使用精度和均勻性最高。開發了DDT裝置，以提高研磨速度，減少裝卸過程使用時間和維護時間。該單元還提供了晶片的高工藝產量和高工藝可重復性，使用戶能夠實現對成品質量的嚴格控制。EBARA EPO S-010的強大設計提供了可靠的性能、低的擁有成本和易用性,使其成為復合半導體和石英材料高精度表面處理的最佳可用系統之一。