二手 EBARA Frex 150 #293660146 待售

EBARA Frex 150晶圓研磨、研磨和拋光設備是滿足半導體和MEMS器件技術最苛刻要求的高性能多功能解決方案。Frex 150專為研磨、研磨和拋光最堅硬的矽片而設計,提供了高質量的光潔度,設置範圍從400-2,000 RPM不等,最大研磨壓力為2.2x106 N/m2。EBARA Frex 150配備了內置液壓動力磨頭、直徑150毫米的肖特基晶片卡盤、大真空卡盤。該系統采用上側研磨、研磨和拋光板以及下部底板，用於分配研磨壓力和支撐。特殊的傳感器量規控制允許在將晶片放在研磨板上時使用預設參數，以便進行精確和詳細的研磨、研磨和拋光。該單元還配備了大型空氣凈化機，可用於從研磨和拋光區域去除空氣中的物質，以減少汙染，優化研磨/拋光性能。此外，自動化再循環工具和三重過濾資產使用於研磨和拋光的液體易於清潔過濾。Frex 150配有溫度控制面板，用於控制和監測研磨和拋光過程中使用的材料的溫度。EBARA Frex 150中還包括一個特殊的「配置文件跟蹤」軟件,允許用戶預設和保存其研磨和拋光參數。此功能使它們能夠實現可重復的表面光潔度輪廓和一致的材料移除率。該軟件還允許廣泛的表面粗糙度檢測，並允許用戶看到磨削和拋光過程中需要做出哪些改變。最後,Frex 150憑借其堅固的結構設計和精心設計的組件,確保低噪聲水平、低顆粒排放和優異的光潔度,非常適合高生產率的應用。