二手 EBARA Frex 200 #293819847 待售
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ID: 293819847
晶圓大小: 8"
Chemical Mechanical Polishing (CMP) system, 8"
(2) Chambers
HF Supply.
EBARA Frex 200是一款用途廣泛的晶圓研磨、研磨和拋光設備,專為優越的晶圓加工率而設計。利用交互式控制和最新技術的獨特組合,EBARA FREX200提供了速度、精度和靈活性的完美結合。FREX-200能夠研磨和研磨直徑可達200毫米、厚度可達50毫米的晶片,非常適合晶片制造需要。該機器采用變速直流電動機,可提供最大扭矩控制,即使面對厚重的基板或材料,也能輕松處理兩個方向高達200毫米/分鐘的進料速率。除了高扭矩電動機外，Frex 200還配備了先進的三軸數控控制，確保高精度，以實現最佳的表面一致性。內置磨削和研磨模塊為磨削和研磨表面層以及平滑上、下表面以準備拋光提供了一種高效的方法。該模塊采用了最新的金剛石磨輪、金屬絲研磨板和拋光墊,具有高達10個磁頭和8個研磨速度,可提供均勻光滑的表面。此外,壓力反饋傳感器還集成到研磨和研磨模塊中,以確保在此過程中始終施加壓力。FREX200集成拋光系統采用三軸方法對200 mm大小的晶片進行拋光和上光。該模塊配有各種拋光墊和刮擦去除工具,非常適合去除殘留的汙染物,並確保最高的表面光潔度精度。EBARA FREX-200中包含的自動監控單元提供了機器整體功能和性能的清晰而詳細的概述。機器監視所有參數,並以易於閱讀的圖表顯示結果,這些圖表既顯示在設備上,也通過Web界面遠程顯示。此功能可為用戶提供有關當前研磨和拋光操作的實時反饋,從而能夠快速做出明智的決策。在Summary中，EBARA F-REX200是一種最先進的晶圓研磨、研磨、拋光工具，配有先進的直流電機、數控和內置研磨研磨模塊。這臺高級機器為用戶提供了高度的精確度,以及令人印象深刻的切割速度,從而可以更快、更準確地生產出表面完美的晶片。
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