二手 EBARA Frex 200 #9256130 待售

EBARA Frex 200是為精密半導體應用而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它是一種高精度的系統，在現代半導體器件中具有廣泛的拋光、平面化和研磨應用，具有卓越的可重復性。該單元非常適合高精度晶圓研磨和研磨應用，如處理高性能MEMS、MEMS-on-Wafer和離散實施技術。它由伺服控制的驅動馬達提供動力,具有廣泛的研磨參數,非常適合需要高度產品一致性的處理器。該機可適應單面和/或雙面晶片加工，以優化晶片的研磨和平面化。變速電動機還提供了從幾微米到幾毫米不等的各種材料去除速率。EBARA FREX200工具利用兩級晶片加載資產，由晶片夾緊級和旋轉晶片級組成。每個晶片級都是獨立控制的，允許不同的分離和研磨/平面化角度精確匹配，以完善研磨過程。晶圓級也有可變的旋轉速度和角度設置，以適應不同的晶圓類型。FREX-200型號能夠在高達600°C （1100°F）的溫度下工作,可提供0.2毫米厚、直徑最大為4.0毫米的陶瓷晶片的無氧化研磨。它還配備了噴氣拋光設備，以允許均勻的表面光潔度。該系統還配備了高速CCD攝像頭，對全過程進行嚴密實時監控，以獲得最佳研磨效果。此外，F-REX200還設計了安全功能，包括除塵、安全框架、緊急停止桿和自動關閉。該單元的用戶友好的圖形界面和強大的控制器確保最佳和簡單的操作。總體而言，EBARA F-REX200晶圓研磨、研磨和拋光是精密和高精度晶圓研磨和研磨應用的完美工具。其高精度伺服控制驅動電機、變速電機、獨立晶片級、兩級裝載機、高溫性能、空氣噴射拋光工具和全面的安全特性使其成為滿足任何精密加工要求的理想工具。