二手 EBARA Frex 200 #9293811 待售

EBARA Frex 200是一個完全集成,晶圓研磨,研磨和拋光系統.這臺機器采用計算機化數控（CNC），可以在晶圓表面上進行精確和可重復的運動。CNC利用閉環控制來調節和監控表面光潔度參數，如去除率、斷裂和無顆粒區控制。該過程的第一步是研磨晶片表面。這包括選擇合適的磨石和使用數控制導機械臂。這允許更高的精度與廣泛的磨石尺寸。EBARA FREX 200的磨石尺寸從2「到10」不等，能夠同時研磨標準和非標準晶片。接下來，晶片進入研磨過程。這是精確且可重復的數控制導機械臂在設定圈速範圍時對晶圓施加潤滑劑的時候。FREX-200的研磨速度從400 rpm到14,000rpm不等,並且可以調整以滿足特定的工藝要求。接著安裝研磨頭，高速旋轉壓板，使晶圓均勻磨損和拋光。最後，晶片被轉移到拋光站。該站有幾個裝有可調壓力拋光墊的端口，使操作員能夠拋光範圍廣泛的晶圓表面面積和類型。該拋光工藝與微動態壓力系統相結合，保證晶片質量均勻。F-REX200還配備了手動晶圓拋光輪和專門設計的拋光板，有助於減少邊緣裂紋。Frex 200有效地將晶圓研磨、研磨和拋光結合到一個自動化系統中，以提供精度、重復性和高生產吞吐量。通過數控的利用，FREX200可以為各種晶圓應用產生高度一致的結果。通過精確研磨和拋光晶片，這臺機器可以為用戶提供精確精確的表面飾面。EBARA F-REX200非常適合任何需要最高質量晶圓精加工的操作。